1. Vakuumpumpens arbejdstryk skal imødekomme det ultimative krav til vakuum og arbejdstryk fra vakuumudstyret. For eksempel, hvis en vakuumtørringsproces kræver et arbejdsvakuum på 10 mmHg, skal vakuumgraden af den valgte vakuumpumpe være mindst 2 mmHg, fortrinsvis op til 1 mmHg. Pumpens ultimative vakuum vælges normalt til at være en halv størrelsesorden højere end vakuumudstyrets vakuum.
2. Vælg korrekt arbejdspunktet for vakuumpumpen. Hver pumpe har et bestemt arbejdstrykområde, såsom: 2BV-serien vandring vakuumpumpe arbejdstrykområde 760mmHg ~ 25mmHg (absolut tryk), i et så bredt trykområde ændrer pumpens pumpehastighed med tryk (se pumpen for detaljerede ændringer ) Ydelseskurven), dets stabile arbejdstrykområde er 760 ~ 60 mmHg. Derfor skal pumpens arbejdspunkt vælges inden for dette interval, og det bør ikke være tilladt at arbejde i lang tid ved 25 ~ 30 mmHg.
3. Under arbejdstrykket skal vakuumpumpen være i stand til at fjerne al den gas, der genereres under vakuumudstyrsprocessen.
4. Kombiner vakuumpumperne korrekt. Da vakuumpumpen har selektiv pumpning, kan en pumpe undertiden ikke opfylde pumpekravene, og flere pumper skal kombineres for at komplementere hinanden for at imødekomme pumpekravene. For eksempel har en titan-sublimeringspumpe en høj pumpehastighed for brint, men den kan ikke pumpes, og en tre-polet sputterionpumpe (eller en to-polet asymmetrisk katode-sputterende ionpumpe) har en bestemt pumpehastighed for argon. Når det kombineres, vil vakuumindretningen have et bedre vakuum. Derudover kan nogle vakuumpumper ikke arbejde under atmosfærisk tryk og har brug for for-vakuum; noget vakuumpumpens udløbstryk er lavere end atmosfæretrykket, og den foreline pumpe er nødvendig, så det er nødvendigt at kombinere pumperne.
5. Krav til olieforurening fra vakuumudstyr. Hvis det strengt kræves, at udstyret skal være oliefrit, skal du vælge en række oliefrie pumper, såsom: vandringpumpe, molekylsigtadsorptionspumpe, sputterionpumpe, kryopumpe osv. Hvis kravene ikke er strenge, Du kan vælge at have en oliepumpe, plus nogle olieforureningstiltag, f.eks. tilføjelse af kolde fælder, baffler, oliefælder osv., kan også opnå krav til rent vakuum.
6. Forstå sammensætningen af den gas, der skal pumpes. Gassen indeholder ingen kondenserbar damp, ingen partikelstøv og ingen ætsning. Når du vælger en vakuumpumpe, skal du kende gassammensætningen og vælge den passende pumpe til den pumpede gas. Hvis gassen indeholder dampe, partikler og ætsende gasser, skal du overveje at installere hjælpeudstyr såsom kondensatorer, støvopsamlere osv. På pumpens indgangsrør.
7. Hvordan påvirker den oliedamp, der udledes fra vakuumpumpen, miljøet? Hvis miljøet ikke tillader forurening, kan du vælge en oliefri vakuumpumpe eller tømme oliedampen udefra.
8. Vibrationen, der genereres, når vakuumpumpen fungerer, har ingen indflydelse på processen og miljøet. Hvis processen ikke tillader det, skal du vælge en vibrationsfri pumpe eller tage antivibrationsforanstaltninger.
9. Vakuumpumpens pris, drift og vedligeholdelsesomkostninger.
浙公网安备 33108202000606号